設備簡介

KC3111功率半導體高精度靜態特性測試系統（面向工廠生產端），基于全新三代半SiC, GaN器件和模塊以及車規級模塊的新興要求而進行的一次高標準產品開發。脈沖信號源輸出方面，高壓源標配2000V（選配3.5KV）,高流源標配1KA（選配4KA多模塊并聯）,柵極電壓30V。采用多量程設計架構，各量程下均可保證0.1%精度，具有uΩ級精確測量，pA 級漏電流測量能力。全自動程控軟件，圖型化上位機操作界面。內置開關切換矩陣保證測試效率。模塊化結構設計預留升級擴展潛能。測試接口可外掛各類夾具和適配器，還能夠通過專用接口連接各種Handler：如分選機、機械手、探針臺、編帶機等。

適用產品

可測Si, SiC, GaN 材料的IGBTs, DIODEs, LED,MOSFETs, BJTs, HEMTs, 電容，光耦等產品的生產測試。

參考標準

IEC 60747-8/9 半導體分立器件第8/9部分/JEDEC標準

設備特點

KC-3111系 統 包 含 ： 硬件平臺 + 實時軟件，可測試靜態特性、IV 曲線、容阻測試（Rg、Cxss）、CV 曲線；主要特點如下:

量程寬：電壓 2KV/3.5KV；電流 1KA/2KA/3KA/4000A（模塊并聯）高精度：多量程設計架構，各量程下均可保證 0.1%精度，具有 uΩ級精確測量、pA 級漏電流測量；

高效率：內置開關矩陣，自動切換測量單元，提高生產測試效率；

模塊化：根據測試需求搭配不同規格測量單元。

在線高低溫箱:選裝-50℃~﹢150℃(最高 200℃)專用高精度實時在線高低溫箱，支持 48 工位和 98 工位。圓形旋轉盤，溫度均勻性優秀選配溫控模塊也可與第三方溫箱實現聯動控制；

具備數據管理功能，上位機可實現數據曲線、報告及自動保存；

IV曲線：2K點以內的 IV 曲線實時掃描；CV曲線：柵電阻 Rg、反向傳輸電容 Cres、輸入電容 Cies、輸出電容 Coes、CV 曲線。

軟件系統

技術參數